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　　开始 | 科技日报

　　记者27日从西湖大学获悉，由该校孵化的西湖仪器（杭州）技艺有限公司（以下简称“西湖仪器”）奏效斥地出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技艺，惩办了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片勤苦。

　　与传统的硅材料比拟，碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子搬动率和热导率，可在高温、高电压条目下踏实职责，已成为新动力和半导体产业迭代升级的环节材料。

　　“现在，碳化硅衬底材料资本居高不下，严重羁系了碳化硅器件的大界限诈欺。”西湖大学工学院讲席讲明仇旻先容，碳化硅行业降本增效的过失路线之一，是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底比拟，12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积，在同等出产条目下，可权臣进步芯片产量，同期责难单元芯片制形资本。

　　据外洋巨擘商讨机构瞻望，到2027年，众人碳化硅功率器件市集界限将达67亿好意思元，年复合增长率达33.5%。旧年底，国内企业显露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。

　　此前，西湖仪器已当先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离树立。为反馈最新市集需求，西湖仪器赶快推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技艺，将超快激光加工技艺诈欺于碳化硅衬底加工行业，完成了联系树立和集成系统的斥地。

　　“该技艺结束了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等经由的自动化。”仇旻先容，与传统切割技艺比拟，激光剥离经由无材料损耗，原料损耗大幅着落。

　　仇旻说，新技艺可大幅责难衬底出片晌间，适用于明天超大尺寸碳化硅衬底的界限化量产，进一步促进行业降本增效。

背负裁剪：凌辰